家用制氧机需要定期清洁维护，这样才能保证设备正常工作，输出的氧气干净卫生，避免因为设备脏污影响健康，清洁维护的步骤其实很简单，日常在家就能操作。​
首先是机身的清洁，每天用干净的软布擦拭机身表面，把灰尘擦掉就行，不要用湿抹布直接擦，尤其是机身的按钮和接口处，以免水分进入设备内部导致故障。如果机身表面有比较顽固的污渍，比如不小心沾上的水渍或油污，可以用蘸了少量清水的布轻轻擦，擦完后马上用干布把水擦干，保持机身干燥。​
然后是鼻导管或面罩的清洁，这是和面部直接接触的部分，必须每天清洁。鼻导管可以用温水冲洗内壁和外壁，冲洗时不要用力揉搓，以免损坏导管，冲洗干净后放在阴凉通风的地方晾干，不要放在太阳下暴晒，也不要用吹风机吹，高温会让导管变形。面罩的清洁要更仔细，先把面罩上的带子取下来，用温和的中性肥皂或专用清洁剂兑水，用软布蘸水擦拭面罩内部和外部，重点擦接触面部皮肤的部分，去除油脂和汗液，然后用清水把清洁剂冲干净，晾干后再装回带子。​
湿化罐也是需要清洁的部件，湿化罐里装的水是为了让输出的氧气更湿润，避免干燥的氧气刺激呼吸道。每天使用后，要把湿化罐里剩下的水倒掉，用清水冲洗罐内部，然后晾干，下次使用时再加入新的纯净水或蒸馏水，不要用自来水，因为自来水含有杂质，时间长了会在罐内形成水垢，影响湿化效果，还可能污染氧气。​
另外，制氧机的滤网也需要定期更换或清洁，滤网的作用是过滤空气中的灰尘，防止灰尘进入设备内部。如果是可清洗的滤网，每周用清水冲洗一次，晾干后再装回去；如果是一次性滤网，按照说明书的建议定期更换，一般几周到几个月换一次，具体看使用频率和环境灰尘多少。​
维护时还要注意，不要让制氧机靠近热源或明火，比如暖气片、厨房灶台，高温会影响设备性能，甚至有安全隐患；移动设备时要轻拿轻放，不要碰撞，以免内部零件损坏。如果使用过程中发现设备有异常声音、不出氧或出氧量不稳定，要及时停止使用，联系售后人员检查，不要自己拆开设备修理。